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    纳米薄膜技术

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    纳米薄膜技术

    技术特点

    高洁净度

    01

    强耐化学腐蚀性

    02

    应用场景

    应用于HCl/Cl2/F2等气体氛围中，以及ALD/CVD设备的匀气盘等核心部件强腐蚀气体传输管路内壁

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